얼마전에 짱깨가 asml의 노광장비를 분해했다가 고장나서 수리도 못받은 뉴스가 있었다

대당 몇천억하는 장비인데 짱깨가 그걸 뜯어서 카피할려고 했지 좃나 비싸고 주문해도 오래 걸리고 짱깨는 수출 제한까지 받아서 진짜 복제하고 싶었을꺼다


이런거인데 대당 몇천억 이고 asml 밖에 못만들고 있다 왜 저렇게 비쌀까?

이게 지랄 맞은게 회로의 선폭이 작아지니까 일반적인 빛은 안되고 euv라는 극자외선을 쓴다


우리가 보는 가시광선보다 짧은 파장을 가진걸 uv 자외선이라고 하는데 그거보다 짧으면 x선 더 짧으면 감마선이라고 부른다

euv는 자외선중에 제일 짧은 파장을 가지는데 특성이 자외선보다는 x선에 가깝다

x선의 특징이 투과성이 좃나 높다는거다 


 이렇게 물체를 통과해버린다 방사능이기도 하고 극자외선이 이런특성을 지녔는데 이게 골아픈거다 


이런걸 마스크라고 하는데 저기에 극자외선을 쪼이면 아래쪽으로 막힌 부분으로는 빛이 안가고 뚫린쪽으로 빛이 가서 아래쪽 웨이퍼에 닿는다

마스크를 반도체 사이즈로 만드는건 안되니까 하는게 저렇게 큰걸 만들고 빛을 렌즈로 축소 축소해서 아주 작은 사이즈로 웨이퍼에 쬐어준다

예전에 레이저나 이런빛을 쓸때는 큰 문제가 없었는데 euv로 바뀌면서 문제가 생긴다 

렌즈에 euv를 쏴서 거울로 반사해서 적절한 사이즈로 웨이퍼에 닿게 해야 되는데 이게 반사가 되는게 아니라 거울을 뚫고 나가버리는 일이 생긴다


우주망원경에서 쓰는 베릴륨 반사경을 써도 많이 반사가 안된다고 하더라 

이게 개념도인데 반사경이 좃나 많다 한개당 절반만 반사해도 거울이 많으니까 마지막에 웨이퍼에 닿을때는 몇퍼센트 안되는 빛만 닿게 된다 

그렇다고 무작정 빛을 좃나 쎄게 쏴버리면 수명이 짧아지고 골때리지 먼지 안들어가게 할려고 필터도 끼우는데 필터가 euv에 오래 노출되면 맛이 간다더라

몇시간쓰고 바꾸고 한다는 이야기도 있었다 

저런 극악의 문제를 해결한게 지금의 노광장비인데 독점에 생산량도 얼마 안되는데다가 삼성 tsmc 인텔 등등 살려고 줄을 서 있으니 좃나 비싼거다 

중국은 저걸 어떻게든 카피해서 국산화 하고 싶은건데 쉽지 않지 아마 수십조원 때려박아도 몇년내에 개발이 힘들꺼다 한두개 기술이 아니라 

부품 만드는 납품기업까지 어느정도 수준에 올라와야 되거든 

세상 사는데 아무 쓸모없는 정보였다